Drop Shape Analyzer

DSA100W

Automatische Analyse der Benetzbarkeit und Adhäsion von Wafern und anderen runden Proben

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Die Wafer-Konfiguration des DSA100 Drop Shape Analyzer ist auf die automatische, standardisierte Qualitätskontrolle von Wafer-Oberflächen und anderen runden Proben ausgerichtet. Das Instrument bestimmt präzise die Homogenität der Reinigung einer Oberfläche auf Basis des Kontaktwinkels. Es ermöglicht zudem die Charakterisierung von Beschichtungen, z. B. durch Unterschiede in der Benetzung von belichtetem und unbelichtetem Fotolack.

Anwendungsgebiete

  • Charakterisierung der Reinigungs- und Beschichtungshomogenität von Wafern

  • Bewertung der Adhäsion zwischen Wafer und Beschichtung

  • Benetzungsuntersuchung von belichtetem und unbelichtetem Fotolack

  • Ideal für die Analyse anderer runder Proben, z.B. Festplatten oder Bremsscheiben

Messmethoden

  • Kontaktwinkel eines Tropfens auf einer festen Oberfläche

  • Kontaktwinkel zweier parallel dosierter Tropfen

  • Automatische positionsabhängige Kontaktwinkelmessung und -auswertung

  • Kontaktwinkel anhand einer Blase unter einer festen Oberfläche in einer Flüssigkeit

  • Freie Oberflächenenergie eines Festkörpers anhand von Kontaktwinkeldaten

  • Abrollverhalten und Fortschreit-/Rückzugskontaktwinkel auf einer geneigten Oberfläche

  • Wiederholte Durchführung einer Messung bis zu 20 Mal mit Ergebnisübersicht

Messergebnisse

  • Statischer Kontaktwinkel

  • Fortschreit- und Rückzugs-Kontaktwinkel

  • Kontaktwinkel mithilfe einer Blase in einer Flüssigkeit

  • Freie Oberflächenenergie (SFE) nach folgenden Modellen: Owens/Wendt/Rabel/Kaelble (OWRK), (extended) Fowkes, van Oss & Good, Schultz, Wu, Zisman

  • Positionsabhängiger Kontaktwinkel und SFE

  • Temperatur

Schnelle und automatische Analyse an beliebigen Position

Das Herzstück des DSA100W ist ein softwaregesteuerter Aufbau eines runden, rotierenden Probentisches, der auf einer horizontalen Achse montiert ist. Dank eines Vakuumanschlusses werden die Wafer sicher in Position gehalten. Mit dieser Anordnung kann jede Position auf dem Wafer schnell, automatisch und genau für die Messung des Kontaktwinkels erreicht werden.

 

Die Dosiereinheit erzeugt Tropfen mit präzise eingestelltem Volumen, wodurch exakt reproduzierbare Messbedingungen gewährleistet sind. Behutsames Absetzen des Tropfens und die dynamikkontrollierte Dosierung verhindern Messabweichungen durch ungewollte Vorbenetzung.

 

 

Software-gesteuerte Analyse der gesamten Probe

Die ADVANCE Software steuert die Messung anhand von standardisierten Messprozeduren vollautomatisch. Dabei werden zuvor definierte und gespeicherte Positionen nacheinander angefahren und vermessen. Das sorgt für einen schnellen und vollständig standardisierten Messablauf bei hohem Probendurchsatz.

 

 

Zuverlässige Tropfenkonturanalyse dank hoher Abbildungsqualität

Das DSA100W verfügt über eine hochauflösende Kamera und ein hochwertiges Zoomobjektiv für eine genaue Darstellung des Tropfens mit optimaler Größe. Die dadurch erzielte hohe Bildqualität führt zu einem präzise gemessenen Kontaktwinkel. In Kombination mit dem intelligenten Bildauswertealgorithmus der ADVANCE Software sorgt die Tropfenkonturanalyse mit dem Instrument für exakte Ergebnisse.

OPTIONAL
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Liquid Needle Dosierung

Freie Oberflächenenergie in Sekunden

Mit der Liquid Needle ist die Kontaktwinkelmesstechnik perfekt ausgerüstet: in der Qualitässicherung wie für die Forschung und Entwicklung. Erfahren Sie mehr über die Ideen, mit denen die Liquid Needle Geschwindigkeit mit wissenschaftlicher Exzellenz verbindet.

Das Hirn Ihres Instruments

  • Intuitive Software mit einer Workflow-orientierten Benutzeroberfläche

  • Schnelle und wiederholbare Analysen dank Messvorlagen und leistungsstarken Automationen

  • Überlegene Algorithmen für Bildanalysen sorgen auch bei schwierigen Bildern für präzise Ergebnisse

  • Eine breite Palette von Auswertungsmethoden macht ADVANCE zu einem zuverlässigen wissenschaftlichen Werkzeug