• Drop Shape Analyzer – DSA100W

    Drop Shape Analyzer – DSA100W

Drop Shape Analyzer – DSA100W

Vollautomatische Qualitätsprüfung von Waferoberflächen

Die Gerätekonfiguration DSA100W unseres universellen Drop Shape Analyzers haben wir speziell auf die automatische, standardisierte Qualitätskontrolle von Waferoberflächen ausgerichtet. Unser Drop Shape Analyzer – DSA100W ermittelt präzise die Homogenität der Oberflächenreinigung eines Wafers anhand des Kontaktwinkels. Er ermöglicht außerdem die Charakterisierung von Beschichtungen, zum Beispiel durch Benetzungsunterschiede von belichtetem und unbelichtetem Fotolack.

Den Mittelpunkt des Instruments bildet ein softwaregesteuerter, runder Probentisch, der sich auf einer ebenfalls softwaregesteuerten, horizontalen Achse befindet. Mit dieser Anordnung kann jede Position auf dem Wafer für die Kontaktwinkelmessung schnell, automatisch und punktgenau angesteuert werden. Die Dosiereinheit erzeugt Tropfen mit präzise eingestelltem Volumen, wodurch exakt replizierbare Messbedingungen gewährleistet sind. Das behutsame Absetzen des Tropfens oder auch unsere dynamikkontrollierte Dosierung direkt auf der Probe verhindern Messabweichungen, die durch ungewollte Vorbenetzung entstehen können.

Die Software steuert die Messung anhand von standardisierten Messprozeduren vollautomatisch. Dabei werden zuvor definierte und gespeicherte Positionen nacheinander angefahren und vermessen. Auf diese Weise werden ein schneller Messablauf und ein entsprechend hoher Probendurchsatz sowie ein hohes Maß der Standardisierung erreicht.

Für unser DSA100W sind zahlreiche Upgrades möglich, zum Beispiel auf eine Optik mit softwaregesteuerter Zoom- und Fokuseinstellung für einen höheren Messkomfort. Zusätzlich bieten wir einen automatischen Hubtisch sowie eine Multidosiereinheit zur Bestimmung der freien Oberflächenenergie mit mehreren Testflüssigkeiten.

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