• 硅片专用液滴形状分析仪 – DSA100W

    硅片专用液滴形状分析仪 – DSA100W

硅片专用液滴形状分析仪 - DSA100W

晶片表面全自动质量检测

我们为全自动对晶片表面质量进行标准化控制设计了DSA100W,它是基于接触角确测量来确认晶片表面清洁度和均一性;它同样可以表征喷涂效果,比如检验照片曝光和非曝光润湿性差别。

仪器的关键部件是一个由软件控制的圆形样品台,它安装在同样由软件控制的水平轴,旋转后的晶片能在每个位置上都可以快速准确的自动测量接触角。滴定模块可精确的滴定出相同的液滴体积,保证了测试条件可重复性。

测量是通过软件内的标准程序模板全自动进行的,在Advance中预先设定需要测试的位置,就能实现对整个表面高速、高通量和标准化测量。

DSA100W可进行许多方面的升级,例如通过升级软件控制变焦和聚焦的相机镜头提升测量便利性;也可配备半自动样品升降台简化测量,还可配备多样品滴定系统来测定表面自由能

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